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RS-evo

12インチウェハーにも対応した
WLCSP、ベアダイ向けの
ウェハーピックアップ型高速ハンドラー。

12インチウェハーからのピックアップハンドラーとして
70,000UPH(1時間に7万個)を実現。
6面外観検査にも対応。

特 徴
  • ダメージレス受け渡し(特許技術)
  • 超小型WLCSP、ベアダイ(0.4×0.2mm)に対応
  • 6面外観検査によるマイクロクラック検出(オプションでIR検査対応)
  • 電気テストのインテグレーションも可能
生産性 70,000UPH (サイクルタイム51ms)
供 給 ウェハー (6, 8, 12インチ)、オプション:ディテーピング
収 納 テープ&リール(4,8,12,16mmW)
対象製品
  • WLCSP
  • ベアダイ
  • パワーデバイス
  • ディスクリート半導体
  • FOWLP
  • 電子部品
対象製品サイズ 最小 0.4 x 0.2mm、 t0.1mm以下の薄型製品にも対応、最大 10 x 10mm
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