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WS-evo

12インチウェハー to 12インチウェハーの高速貼り替え機。WLCSP、KGD(Known Good Die)、イメージセンサーの外観検査とダイの再貼り付けが可能。

30,000UPHの高生産性。6面外観検査、IR外観検査オプション有り。クリーンルーム クラス100対応。

特 徴
  • 高速ウェハー貼り換え
  • 6面外観検査(オプションでIR外観検査対応)
  • クリーンルーム クラス100対応
生産性 30,000UPH (サイクルタイム120ms)
供 給 ウェハー (12, 8インチ)
収 納 ウェハー (12, 8インチ)
対象製品
  • WLCSP
  • KGD
  • ベアダイ
  • イメージセンサー
対象製品サイズ 最小0.4 x 0.2mm から 最大15 x 15mm

お客様のニーズに合わせたご提案が可能です。
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